洁净室测试方法

洁净室测试方法

 B．1  风量或风速的检测

B.1.1 对于单向流洁净室，采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。 离高效过滤器0.3m，垂直于气流的截面作为采样测试截面，截面上测点间距不宜大 于0.6m，测点数不应少于5 个，以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。
B.1.2 对于非单向流洁净室，采用风口法或风管法确定送风量，做法如下:
    1 风口法是在安装有高效过滤器的风口处，根据风口形状连接辅助风管进行测
量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口形状及内截面相同，长度等于2 倍
风口长边长的直管段，连接于风口外部。在辅助风管出口平面上，按最少测点数不
少于6 点均匀布置，使用热球式风速仪测定各测点之风速。然后，以求取的风口截
面平均风速乘以风口净截面积求取测定风量。
    2 对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以钻孔时，可以用风管法确定
风量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3 倍管径或长边长，局部阻力部
件后5 倍管径或长边长的部位。
    对于矩形风管，是将测定截面分割成若干个相等的小截面。每个小截面尽可能
接近正方形，边长不应大于200mm，测点应位于小截面中心，但整个截面上的测点
不宜少于3 个。
    对于圆形风管，应根据管径大小，将截面划分成若干个面积相同的同心圆环，
每个圆环测4 点。根据管径确定圆环数量，不宜少于3 个。

B．2  静压差的检测

B.2.1  静压差的测定应在所有的门关闭的条件下，由高压向低压，由平面布置上与外界最远的里间房间开始，依次向外测定。

B.2.2  采用的微差压力计，其灵敏度不应低于2.0Pa。

B.2.3  有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的气流流向。

洞口的平均风速大于等于0.2m/s时，可用热球风速仪检测。

B．3  空气过滤器泄漏测试

B.3.1  高效过滤器的检漏，应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计数器。

D类高效过滤器宜使用激光粒子计数器或凝结核计数器。

B.3.2  采用粒子计数器检漏高效过滤器，其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或含其他气溶胶尘的空气。对大于或等于0.5μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×10⁵pc/m³；或对大于或等于0.1μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×10⁷pc/m³；若检测D类高效过滤器，对大于或等于0.1μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×10⁹pc/m³。

B.3.3  高效过滤器的检测采用扫描法，即在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头，放在距离被检部位表面20～30mm处，以5～20mm/s的速度，对过滤器的表面，边框和封头胶处进行移动扫描检查。

B.3.4  泄漏率的检测应在接近设计风速的条件下进行。将受检高效过滤器下风侧测得的泄漏浓度换算成透过率，高效过滤器不得大于出厂合格透过率的2倍；D类高效过滤器不得大于出厂合格透过率的3倍。

B.3.5  在移动扫描检测工程中，应对计数突然递增的部位进行不定点检验。

B.4  室内空气洁净度等级的检测

B.4.1  空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态（空态、静态、动态）下进行。

B.4.2  检测仪器的选用：应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计算器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格证书。

B.4.3  采样点的规定：

1  最低限度的采样点数N_L，见表B.4.3；

表B.4.3   最低限度的采样点数N_L表

2  采样点应均匀分布于整面积内，并位于工作区的高度（距地坪0.8m的水平面），或设计单位、业主特指的位置。

B.4.4  采样量的确定：

1  每次采样的最少采样量见表B.4.4

B.4.4   每次采样的最少采样量Vs（L）表